上海至纯洁净系统科技股份有限公司（证券代码：603690，简称“至纯科技”）作为启东半导体产业的核心支柱，是国内半导体湿法工艺设备与高纯工艺系统的领军企业，2018年落子启东经济开发区，打造约5.6万平米的高端装备制造与研发中试基地 ，以技术创新为核心驱动力，深度参与国产替代浪潮，是启东从传统制造向高端半导体装备升级的标杆标杆。
公司总部位于上海闵行紫竹国家高新区，启东基地作为核心生产与人才培养基地，承载着关键设备的量产与技术迭代重任 。自2000年成立、2017年登陆上交所主板以来，至纯科技构建起“设备+材料+服务”的全链条布局，业务覆盖集成电路、生物制药等战略新兴领域。2024年全年营收达36.05亿元，2025年前三季度营收23.67亿元，启东基地年产能达96套半导体设备，二期扩建后新增年产能200台高端湿法设备，持续巩固行业领先地位。
作为国内少数掌握核心工艺的半导体设备企业，至纯科技以技术壁垒构建竞争护城河。公司累计申请专利865件，其中发明专利356件，研发投入持续领跑行业，2025年上半年研发支出达1.18亿元，占比营收7.3%。核心技术聚焦两大方向：一是湿法清洗设备，国内首家实现28nm节点前中后段全工艺覆盖，14nm单片式SPM高温硫酸清洗机打破国际垄断，单机量产突破70万片次，技术参数对标应用材料、泛林半导体等国际巨头；二是高纯工艺系统，突破ppb级不纯物控制技术，累计交付3.6万台套设备，特气设备市占率达48.8%，化学品设备市占率超30%，12英寸晶圆厂大宗气站市占率突破30%，彻底打破海外垄断。
产品矩阵与市场布局上，至纯科技形成“核心设备稳占、新兴材料提速”的双轮驱动格局。半导体设备业务中，湿法清洗设备覆盖逻辑、存储、先进封装等全场景，客户涵盖中芯国际、华虹半导体、长江存储等国内80%以上12英寸晶圆厂，12英寸客户订单占比达89.1%；高纯工艺系统作为基本盘，为半导体、光伏、显示面板等行业提供超高纯度介质输送解决方案，客户留存率超90%。电子材料业务成为新增长极，2025年上半年收入达1.33亿元，同比增长146%，毛利率超35%，持续拓展半导体耗材市场。启东基地凭借区位与产能优势，高效支撑长三角晶圆厂集群需求，服务响应时间较海外厂商缩短50%，成为本土化服务的标杆。
行业地位与产业赋能方面，至纯科技连续多年入选“中国半导体设备十强”，是国内唯一能同时提供湿法设备与高纯系统的全链路供应商，在全球半导体设备市场稳居第一梯队。作为启东半导体装备链的“链主”企业，公司带动晶工半导体、优睿半导体等上下游企业集聚，推动启东构建从设备研发、制造到配套服务的完整产业生态 。启东基地三期扩建将于2025年Q2投产，14nm设备月产能提升至50台，支撑公司目标将湿法设备市占率从12%提升至25%，进一步强化国产替代核心地位。同时，公司吸纳超2000名高端技术人才，与中科院、上海交大等高校共建研发平台，助力启东打造长三角半导体装备创新高地 。
面向未来，至纯科技以“成为国内领先的工艺装备及材料提供商”为愿景，紧抓全球半导体产业链重构机遇，持续深化先进制程设备研发，推进7nm及以下设备量产突破，布局第三代半导体配套设备 。启东基地将持续扩容产能、优化技术平台，强化本土化供应链能力，为客户提供更高效的交付与服务。
公司总部位于上海闵行紫竹国家高新区，启东基地作为核心生产与人才培养基地，承载着关键设备的量产与技术迭代重任 。自2000年成立、2017年登陆上交所主板以来，至纯科技构建起“设备+材料+服务”的全链条布局，业务覆盖集成电路、生物制药等战略新兴领域。2024年全年营收达36.05亿元，2025年前三季度营收23.67亿元，启东基地年产能达96套半导体设备，二期扩建后新增年产能200台高端湿法设备，持续巩固行业领先地位。
作为国内少数掌握核心工艺的半导体设备企业，至纯科技以技术壁垒构建竞争护城河。公司累计申请专利865件，其中发明专利356件，研发投入持续领跑行业，2025年上半年研发支出达1.18亿元，占比营收7.3%。核心技术聚焦两大方向：一是湿法清洗设备，国内首家实现28nm节点前中后段全工艺覆盖，14nm单片式SPM高温硫酸清洗机打破国际垄断，单机量产突破70万片次，技术参数对标应用材料、泛林半导体等国际巨头；二是高纯工艺系统，突破ppb级不纯物控制技术，累计交付3.6万台套设备，特气设备市占率达48.8%，化学品设备市占率超30%，12英寸晶圆厂大宗气站市占率突破30%，彻底打破海外垄断。
产品矩阵与市场布局上，至纯科技形成“核心设备稳占、新兴材料提速”的双轮驱动格局。半导体设备业务中，湿法清洗设备覆盖逻辑、存储、先进封装等全场景，客户涵盖中芯国际、华虹半导体、长江存储等国内80%以上12英寸晶圆厂，12英寸客户订单占比达89.1%；高纯工艺系统作为基本盘，为半导体、光伏、显示面板等行业提供超高纯度介质输送解决方案，客户留存率超90%。电子材料业务成为新增长极，2025年上半年收入达1.33亿元，同比增长146%，毛利率超35%，持续拓展半导体耗材市场。启东基地凭借区位与产能优势，高效支撑长三角晶圆厂集群需求，服务响应时间较海外厂商缩短50%，成为本土化服务的标杆。
行业地位与产业赋能方面，至纯科技连续多年入选“中国半导体设备十强”，是国内唯一能同时提供湿法设备与高纯系统的全链路供应商，在全球半导体设备市场稳居第一梯队。作为启东半导体装备链的“链主”企业，公司带动晶工半导体、优睿半导体等上下游企业集聚，推动启东构建从设备研发、制造到配套服务的完整产业生态 。启东基地三期扩建将于2025年Q2投产，14nm设备月产能提升至50台，支撑公司目标将湿法设备市占率从12%提升至25%，进一步强化国产替代核心地位。同时，公司吸纳超2000名高端技术人才，与中科院、上海交大等高校共建研发平台，助力启东打造长三角半导体装备创新高地 。
面向未来，至纯科技以“成为国内领先的工艺装备及材料提供商”为愿景，紧抓全球半导体产业链重构机遇，持续深化先进制程设备研发，推进7nm及以下设备量产突破，布局第三代半导体配套设备 。启东基地将持续扩容产能、优化技术平台，强化本土化供应链能力，为客户提供更高效的交付与服务。
从启东制造基地到全球半导体设备供应商，至纯科技的成长之路，是中国高端装备制造突破卡脖子技术的缩影，更是启东深耕高端制造、拥抱半导体产业升级的生动实践。未来，公司将继续扎根启东、辐射全球，以技术创新赋能产业升级，以优质装备服务全球市场，为中国半导体产业自主可控与启东经济高质量发展注入强劲动力。
招商代表：徐向军；招商热线：13914387778；电子邮件：sdpj1234@163.com；驻沪办事处：上海市浦东新区高桥镇尼德兰花园二期23栋；网站：启东招商网。
